Wafer 낱장 반송용 이동 로봇의 개발

성학경 ,  이성현 ,  김성권

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2000 .10

300mm wafer cassette 반송용 이동 로봇

성학경 ,  한용섭 ,  김성권

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1999 .10

차세대 300mm Wafer 반송 시스템

조상준

공기청정기술

2001 .01

반송 시 웨이퍼 이탈을 최소화 하기 위한 새로운 형태의 웨이퍼 가이드 메커니즘

김대원 ,  유지환

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

캐리어를 이용한 낱장 웨이퍼이송시스템에 관한 연구

고현준 ,  김종형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .06

클린튜브 시스템의 웨이퍼 운동 제어

신동헌 ,  최철환 ,  정규식

설비공학논문집

2004 .05

캐리어를 이용한 낱장 웨이퍼이송시스템에 관한 연구

고현준 ,  이동헌 ,  김종형

대한기계학회 춘추학술대회

2008 .06

퍼지 논리를 이용한 웨이퍼의 사이즈 추정 알고리즘

권오진 ,  최성주 ,  조현찬 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

Advanced Wafer-to-Wafer and Chip-to-Wafer Bonding for 3D Integration

Bioh Kim ,  Paul Kettne ,  Stefan Pa 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Automated Wafer Separation from the Stacked Array of Solar Cell Silicon Wafers Using Continuous Water Jet

Kim ,  Kyoung-Jin ,  Kim 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

Copper 오염 최소화를 위한 Wafer Cleaning 공정 최적화

김서현 ,  홍진석 ,  전용명 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

실리콘 웨이퍼 연마헤드의 강제구동 방식이 웨이퍼 연마 평탄도에 미치는 영향 연구

김경진 ,  박중윤

반도체디스플레이기술학회지

2014 .01

웨이퍼 반송용 무인운반로봇의 제어부 개발

박종관 ,  황진웅 ,  허성우 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2015 .04

웨이퍼 반송용 무인운반로봇의 제어부 개발

박종관 ,  황진웅 ,  허성우 외 2명

정보 및 제어 논문집

2015 .04

Wafer 반송용 End-Effector의 FEM 해석 및 파지력 제어에 관한 연구

권오진 ,  최성주 ,  이우영 외 2명

한국반도체장비학회지

2003 .01

GaAs Wafer 접합용 본딩시스템 개발

송준엽 ,  강재훈 ,  이창우 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

Wafer-Scale CSP USING WAFER SCALE ASSEMBLY TECHNOLOGY

Kang ,  D.B. ,  Yoon 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

WAFER PROCESS 실시간 모니터링 시스템에 관한 연구

김효남

한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집

2015 .01

Multi Project Wafer 연구 ( Study on Multi Project Wafer )

곽명신 ,  권종기

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

Multi Project Wafer 연구 ( Study on Multi Project Wafer )

곽명신 ,  권종기

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01