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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
고현준 (서울산업대학교) 이동헌 김종형
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 생산 및 설계공학부문 춘계학술대회 논문집
발행연도
2008.6
수록면
208 - 213 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2008

캐리어를 이용한 낱장 웨이퍼이송시스템에 관한 연구
고현준 ,  이동헌 ,  김종형 대한기계학회 춘추학술대회 2008.06 학술대회자료
캐리어를 이용한 낱장 웨이퍼이송시스템에 관한 연구
고현준 ,  김종형 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.06 학술대회자료

초록· 키워드

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A study of semiconductor manufacturing equipment and with the fact that regarding a wafer transfer system, when in the study it follows in order to load one funeral wafer with horizontality the load department which is prepared In order to do transportation direction of the minute description wafer steering the steering department which is prepared, The minute description wafer is transported, in order to do the drive the drive department which is prepared And minute description load it will call on top and it will load and the minute description steering department will be prepared to a lower part, the minute description drive it will call and attaches and the base frame department which it supports The technique it will be able to improve the civil official efficiency of the wafer transfer which is smooth in order to include and wafer transfer system.
#single-substrare transfer(낱장이송) #웨이퍼(wafer) #캐리어(carrier) #semiconductor process(반도체 공정) #transportation speed(이송 속도) #wafer stocker #FAB line

목차

Abstract
1. 서론
2. 설계 목표
3. 개념설계
4. 형상 모델링
5. 결론
후기
REFERENCE

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