Temporal Evolution of Electron Energy Distribution Function and Plasma Parameters in High Power Impulse Magnetron Sputtering Discharge

Jung Hwan In; Sang Hun Seo; Hong Young Chang; J. G. Han

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Jung Hwan In Sang Hun Seo Hong Young Chang J. G. Han

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 INTERFINISH 2008

발행연도: 2008.6

수록면: 548 - 548 (1page)

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