A STUDY ON THE RELATIONSHIP BETWEEN PLASMA CHARACTERISTICS AND FILM PROPERTIES FOR MgO BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING

Kyung H. Nam ,  Yun M. Chung ,  Jeon G. Han

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .11

Physical properties of TiN thin films deposited by grid-assisted magnetron sputtering

Min J. Jung ,  Kyung H. Nam ,  Jeon G. Han 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2002 .05

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

RF magnetron plasma CVD에 의한 DLC 박막의 합성

김성영 ,  이재성

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1994 .10

($Ar+N_2$)분위기 중에 제작된 Fe-B-Si-N 합금 박막의 연자기적 성질

박지종 ,  김종오

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

EFFECTS OF THE COPPER ADDITION ON PHYSICAL PARAMETERS OF MAGNETRON-SPUTTERED Al-1% SI-X% Cu FILMS

C. G. Ko ,  J. K. Kim ,  K. S. Cho

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Comparative study of microstructure and mechanical properties for films with various deposition rate by magnetron sputtering

Kyung H. Nam ,  Yun M. Jung ,  Jeong G. Han

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

RF Magnetron Sputtering법에 의해 형성된 MgO 박막의 결정성과 Plasma Dmage에 미치는 영향

손충용 ,  박정원 ,  조진희 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Ni 층간박막에 따른 SnO₂ 박막의 전기적, 광학적 물성 변화

송영환 ,  엄태영 ,  김대일

열처리공학회지

2016 .01

Magnetron sputtering을 이용한 Zu-Mg 박막의 합성 및 특성에 관한 연구

라정현 ,  이창민 ,  김범석 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2011 .11

Effect of microstructure on mechanical properties of Ti-Al-N thin films synthesized by magnetron sputtering techniques

Young Dae Jo ,  Kwang Ho Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Al thin films of high density deposited with magnetron sputtering

Ji Hoon Yang ,  Jae-Hun Jung ,  Min-A Song 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

Deposition of Cu-Ni films by Magnetron Co-Sputtering and Effects of Target Configurations on Film Properties

Soo-Hyung Seo ,  Chang-Kyun Pa ,  k 외 3명

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2003 .02

Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 다층 광학박막의 특성

김동원

한국표면공학회지

2019 .08

Effects of thickness on the properties of ITO films deposited by a low-frequency magnetron sputtering

Lee ,  Sung-Ho ,  Jung 외 13명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

Development of High Entropy Alloy Film using Magnetron Sputtering

Young Seok Kim ,  Ki Seong Lim ,  Ki Buem Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06