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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1996.11
- 수록면
- 63 - 66 (4page)
이용수
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Electron temperature and electron density were measured in a radio-frequency(rf) inductively coupled plasma using probe measurements. Measurements were made in an argon discharge for pressures from 10 to 100mTorr and input rf power from 100 to 800W. Spatial distribution Electron temperature and electron density were measured for discharge with same aspect ratio. Electron temperature and Electron density were found to depend on both pressure and power. Electron density was creased with increasing pressure. but peaked in a 70mTorr discharge. Radial distribution of the electron density was peaked in the plasma fringes.
These results were compared to a simple mpdel of inductively coupled plasmas.
These results were compared to a simple mpdel of inductively coupled plasmas.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험장치 및 측정방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
5. 참고문헌
참고문헌 (0)
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