마그네트론 음극의 자석 배열에 따른 방전의 형상 변화 연구

지정은; 주정훈

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자료유형: 학술저널

저자정보: 지정은 주정훈

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제41권 제3호

발행연도: 2008.6

수록면: 94 - 101 (8page)

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A new convenient magnet array module is designed to investigate effects of magnetic field array on magnetron discharge characteristics. Magnetic field analysis showed good agreement of measured discharge region by a CCD device which has a high quantum efficiency over visible wavelength range. OES (optical emission spectroscopy) showed major emission peaks are from electronic transitions in 400 ㎚ range and 800 ㎚ range. Effects of driving voltage characteristics were analyzed in a point of electron drift trajectories and ionizing collision frequencies. Pulsed dc with a fast rising and falling time was analyzed to have potential to increase ionization collisions by putting a burst of hot electrons and to raise sheath potential. From measured voltage and current waveform, maximum of ?1000 V peak was generated with ?400 V<SUB>rms</SUB> conditions. Possibility of a properly designed magnetron cathode was shown to be used as a melting device. Cu was successfully melted with power density of a several tens of W/㎠.

#Magnetron #Sputtering #Magnetic field #Plasma #Pulsed dc #Melting

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1. [학술지(정기간행물)] - R. D. Arnell / 2004 / / Surf. Coat. Technol 188-189 : 158 ~

2. [학술지(정기간행물)] - T. E. Sheridan / 1990 / / J. Vac. Sci. Technol A 8 : 30 ~

3. [학술지(정기간행물)] - P. J. Kelly / 2000 / / J. Vac. Sci. Technol A 18 : 2890 ~

4. [학술지(정기간행물)] - 양원균 / 2007 / Al:ZnO의 펄스 스퍼터 증착에서 주파수에 따른 플라즈마의특성과 기판 온도 변화 / 한국표면공학회지 40 (5) : 209 ~ 213

5. [학술지(정기간행물)] - Sultana N. Nahar / 1987 / / Phy. Rev A 35 : 2051 ~

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지정은

소속기관 군산대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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주정훈

소속기관 군산대학교

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