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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 대한전기학회 제37회 하계학술대회 논문집 C
발행연도
2006.7
수록면
1,568 - 1,569 (2page)

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An electric probe is a conductor inserted into the plasma, by which plasma density and electron temperature can be deduced from the collected current (Ⅰ) versus applied voltage (Ⅴ) to the probe. In RF plasma the Ⅰ-Ⅴ characteristics of electric probe is distorted due to the RF fluctuation of plasma potential, so that it is hard to measur ... 전체 초록 보기

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