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A STUDY ON THE RELATIONSHIP BETWEEN PLASMA CHARACTERISTICS AND FILM PROPERTIES FOR MgO BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .11
Pulsed DC Power Magnetron Sputter System을 사용한 Copper 박막 특성 조절
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .05
DC와 pulsed 마그네트론 방전 플라즈마에서 탐침 진단 및 플라즈마 수송 역학
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
Temporal Evolution of Electron Energy Distribution Function and Plasma Parameters in High Power Impulse Magnetron Sputtering Discharge
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
마그네트론 음극의 자석 배열에 따른 방전의 형상 변화 연구
한국표면공학회지
2008 .06
Pulsed Magnetron Sputtering을 이용한 DLC 박막 형성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
에너지 반환회로를 갖는 비대칭 펄스형 DC 플라즈마 전원장치에 관한 연구
전력전자학회논문지
2013 .12
Bipolar pulsed DC magnetron sputtering에서 정적 증착과 동적 증착에 의한 박막특성 변화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
DC Magnetron Sputtering에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .11
A Study on the properties of aluminum nitride films on the Al7075 deposited by pulsed DC reactive magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .11
Flow Actuation by DC Surface Discharge Plasma Actuator in Different Discharge Modes
International Journal of Aeronautical and Space Sciences
2015 .09
방전 플라스마에 의한 CFC-12($CCl_2F_2$)의 분해
한국안전학회지
1999 .01
Pulsed Load에서 DC/DC컨버터의 출력필터 구현
대한전자공학회 학술대회
2019 .11
Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 다층 광학박막의 특성
한국표면공학회지
2019 .08
A new method for fluid simulation of high density plasma discharges
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링 공정 변수에 따른 SiO₂, TiO₂ 광학 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
Control uniformity of plasma on target of DC magnetron sputter based on magnetic field simulation
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
DC Magnetron Sputtering 방법으로 증착한 Fe-N 박막의 구조와 자기적 성질
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
직류 방전과 펄스 직류 방전에 의한 플라즈마 형상 관찰
한국표면공학회지
2009 .06
Al thin films of high density deposited with magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
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