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이용수
1. 서론
2. 본론
3. 결론
참고문헌
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Two Fold Decay of Plasma Density near Substrate in Pulsed DC Magnetron Sputtering Discharge
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
고전렬 펄스 마그네트론 방전의 플라즈마 변수에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .05
Pulsed Load에서 DC/DC컨버터의 출력필터 구현
대한전자공학회 학술대회
2019 .11
마그네트론 음극의 자석 배열에 따른 방전의 형상 변화 연구
한국표면공학회지
2008 .06
A STUDY ON THE RELATIONSHIP BETWEEN PLASMA CHARACTERISTICS AND FILM PROPERTIES FOR MgO BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .11
Pulsed DC Power Magnetron Sputter System을 사용한 Copper 박막 특성 조절
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .05
Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링 공정 변수에 따른 SiO₂, TiO₂ 광학 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
Pulsed D. C. 플라즈마를 이용한 Hole 내부의 플라즈마 질화에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .11
에너지 반환회로를 갖는 비대칭 펄스형 DC 플라즈마 전원장치에 관한 연구
전력전자학회논문지
2013 .12
직류 방전과 펄스 직류 방전에 의한 플라즈마 형상 관찰
한국표면공학회지
2009 .06
Flow Actuation by DC Surface Discharge Plasma Actuator in Different Discharge Modes
International Journal of Aeronautical and Space Sciences
2015 .09
Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 TiO₂/SiO₂ 광학 필터의 미세구조에 따른 광학적 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .06
DC 부분방전 특성 비교
대한전기학회 학술대회 논문집
2015 .07
Bipolar pulsed DC magnetron sputtering에서 정적 증착과 동적 증착에 의한 박막특성 변화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
펄스 플라즈마 시스템의 수치 모델링
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
A Study on the properties of aluminum nitride films on the Al7075 deposited by pulsed DC reactive magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .11
직류 마그네트론 시스템에서 방전 및 스파터링 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1990 .11
플라즈마 전기탐침 진단법
인포메이션 디스플레이
2015 .01
플라즈마 응용을 위한 위상제어 정류기의 과부하 특성해석
한국조명·전기설비학회 학술대회논문집
1996 .11
DC 전압하의 부분방전 기초 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2012 .07
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