마그네트론 스퍼터링법을 이용한 Zn 나노 구조 제어

이원지 ,  윤성호 ,  김안나 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06

음극 형상 변경에 따른 상대론적 마그네트론의 발진 출력 특성 전산모사

박승혁

대한전기학회 학술대회 논문집

2016 .07

원통형 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 티타늄 박막의 특성

성기웅

한국에너지학회 학술발표회

2016 .10

마그네트론 스퍼터링을 이용한 반응성 나노 포일의 제조 공정 최적화 및 산업적 응용

조용기 ,  이원범 ,  유세훈 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 리튬 이온 이차전지 양극용 바나듐 옥사이드 박막에 관한 연구

장기준 ,  김기출

한국산학기술학회 논문지

2019 .06

마그네트론 스퍼터링 효율 향상을 위한 시뮬레이션 기반 자기장 설계

류용훈 ,  김도균 ,  김대현 외 1명

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2017 .04

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 전기변색 박막의 물성평가

조상현 ,  이재근 ,  이성호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

RF 플라즈마 처리 및 고출력 펄스형 마그네트론 스퍼터링을 이용한 고 접합 시드층 개발

황세훈 ,  정다운 ,  김병후 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .06

전산모사를 활용한 반도체 공정의 이해

김병조

기계저널

2023 .12

RF 마그네트론 스퍼터링 증착 압력변화에 따른 SnS 박막의 구조적, 광학적 특성 연구

손승익 ,  신동혁 ,  김서한 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

RF 마그네트론 스퍼터링으로 제조한 SnS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 열처리 효과

손승익 ,  신동혁 ,  김서한 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

격자 변형 모델을 사용한 고출력 스퍼터 음극 모듈의 냉각 해석

주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

대면적 스퍼터링 박막 제작을 위한 캐소드 설계 및 제작

김유진 ,  김상모 ,  김경환

반도체디스플레이기술학회지

2019 .01

스퍼터링 장치의 전극 구성에 따른 박막 특성 분석

변진용 ,  허윤성

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

선형이온소스 및 플라즈마 보조 마그네트론 스퍼터링을 통한 고품위 Cu 박막 형성 기술

임경아 ,  정성훈 ,  이승훈 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

이원 동시 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 In-Sn-Zn-O 박막의 열전 특성

변자영 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 CuS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 스퍼터링 전력의 영향

이상운 ,  신동혁 ,  손영국 외 2명

Current Photovoltaic Research

2020 .03

Mo-Cu 단일 합금타겟을 이용하여 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 박막의 마찰특성

이한찬 ,  윤혜원 ,  정훈 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2018 .10

Thermochromic properties of VO₂ thin films deposited using reactive magnetron sputtering

Kholida Tul Khai ,  y ,  Yeongha Song 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .06

이원 동시 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 비정질 ITZO 박막의 열전 특성

이호윤 ,  김서한 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11