마그네트론 스퍼터링법을 이용한 Zn 나노 구조 제어

이원지 ,  윤성호 ,  김안나 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06

자기장 분포 제어에 의한 마그네트론 스퍼터링 증착 특성 연구

김현수 ,  김일영 ,  민상홍 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .07

마그네트론 스퍼터링법을 이용한 화합물 박막의 고속 증착에 관한 연구

남경훈 ,  한전건

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .11

The synthesis of teflon thin film deposited by rf magnetron sputtering system

신경식 ,  이호영 ,  정윤모 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .11

용량 결합형 마그네트론 스퍼터링 장치의 방전 특성

박명하 ,  곽둥주

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

In-Line type ICP 마그네트론 스퍼터링 장치의 개발

주정훈 ,  양원균 ,  김태학

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .05

반도체용 마그네트론 스퍼터링 음극 전산 모사 소프트웨어 개발

주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .11

DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성 ( The Characteristics of Aluminum Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering )

정귀상 ,  노상수

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성 ( The Characteristics of Aluminum Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering )

김춘곤 ,  정귀상

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

원통형 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 티타늄 박막의 특성

성기웅

한국에너지학회 학술발표회

2016 .10

마그네트론 스퍼터링으로 코팅된 Al-Si 박막의 특성

양지훈 ,  정재훈 ,  송민아 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05

동공 음극 방전을 이용한 고효율 마그네트론 스퍼터링 공정 개발

이승훈 ,  김도근 ,  김종국

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

마그네트론 스퍼터링법을 이용한 Indium-Tin Oxide 박막의 제작과 그 특성에 관한 연구

조길호 ,  김여중 ,  김성종 외 2명

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2000 .11

DC 마그네트론 스퍼터링법에 의해 증착된 구리박막의 특성

송태환 ,  이종권 ,  박소연

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .05

Spatially Resolved Optical Emission Spectroscopy of Pulse Magnetron Sputtering Discharge

김용모 ,  정민재 ,  한전건 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

마그네트론 스퍼터링으로 합성된 저밀도 탄소 박막의 미세구조 및 물리적 특성에 대한 고찰

김성일 ,  심병철 ,  최윤석 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

마그네트론 스퍼터링을 이용한 반응성 나노 포일의 제조 공정 최적화 및 산업적 응용

조용기 ,  이원범 ,  유세훈 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

마그네트론 스퍼터링에 의한 보론카바이드 증착막의 특성

이광은 ,  김종오 ,  김종희 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

반응성 펄스 마그네트론 스퍼터링의 분광분석과 이온 에너지 분포

김용모 ,  한전건 ,  오수기

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .11

Thin film structure of aluminium nitride films prepared by reactive magnetron sputtering

최대한 ,  장호성 ,  최비공 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04