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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
주정훈 (군산대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제45권 제4호
발행연도
2012.8
수록면
174 - 180 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (13)

2017

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2013

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2012

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2011

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2004

반응성 유도결합 플라즈마 시스템에서 방전시 압력 변화의 해석
주정훈 ,  양원균 ,  김태학 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2004.11 학술대회자료

초록· 키워드

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Low pressure inductively coupled plasma characteristics of argon and oxygen are numerically simulated for a 400 mm rectangular type system with a plasma fluid model. The results showed lower power absorption profile at the corner than a circular one in a 13.56 MHz driven 1.5 turn antenna system with a drift-diffusion and quasi-neutrality assumption. Ions controlled by electric field are more non-uniform than metastables and the power absorption profile of oxygen plasma is affected by horizontal gas flow pattern to show 25% lower power absorption at the pumping flange side. Oxygen negative ions which are generated in electron collisional dissociation of oxygen molecules was calculated as 0.1% of oxygen atoms with similar spatial profile.
#Inductively coupled plasma #Numerical modeling #Sputtering #Bipolar plate

목차

Abstract
1. 서론
2. 계산 방법
3. 계산 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (7)

참고문헌 신청
2. [학술지(정기간행물)] - C. W. Chung / 2000 / / J. Appl. Phys 88 : 1181 ~ google schola 4. [단행본] - K. Jousten / 2008 / Handbook of Vacuum Technology / Wiley-VCH : 81 ~ google schola 6. [기타자료] - / / CFD-ACE+ V2011.0 modules manual vol II : 195 ~ google schola 권득철, 윤남식. 유체 모델을 기반으로 하는 유도 결합 플라즈마 시뮬레이터 개발 현황. Applied Science and Convergence Technology. 2009 google schola 이상원. 전기적 특성을 고려한 ICP Source 설계. Applied Science and Convergence Technology. 2009 google schola

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