상온에서 ECR PECVD에 의해 형성된 실리콘 산화질화막의 전기적 특성

이호영; 전유찬; 주승기

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이호영 (서울대학교 금속공학과) 전유찬 (서울대학교 금속공학과) 주승기 (서울대학교 금속공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1993년도 추계 학술발표 강연 및 논문 개요집

발행연도: 1993.1

수록면: 81 - 82 (2page)

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