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저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2008년 하계종합학술대회
발행연도
2008.6
수록면
377 - 378 (2page)

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2008

기상화학증착 텅스텐 막질의 표면 형태에 관한 연구
전동수 ,  김선래 ,  이성영 외 2명 대한전자공학회 학술대회 2008.06 학술대회자료
기상화학증착 텅스텐 막질의 표면 형태에 관한 연구
전동수 ,  김선래 ,  이성영 외 2명 대한전자공학회 학술대회 2008.06 학술대회자료

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Morphology is one of important issues when developing a layer of CVD-W. we need to control the process more precisely that is filling gaps between BL(bit line)and DC(direct contact). Whereas we are facing to diff ... 전체 초록 보기

목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 결론
참고문헌

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