Multi-segment antenna를 이용한 실리콘 산화막의 식각 모델링

양원균; 주정훈; 서화일

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 양원균 주정훈 서화일

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제33회 하계학술대회 초록집

발행연도: 2007.8

수록면: 87 - 87 (1page)

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