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반응성 이온 식각 공정을 활용한 다결정 실리콘 태양전지의 표면 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Multi-segment antenna를 이용한 실리콘 산화막의 식각 모델링
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
실리콘 식각 및 열처리에 따른 오염과 격자결함 변화에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
유체 시뮬레이션을 이용한 미세 식각 구조물 하부 공정 부산물의 배기 특성에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
고밀도 플라즈마 식각 공정시 형성된 실리콘 표면의 오염 및 손상 제거에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
발광 분광 분석법 및 잔류가스 분석기를 이용한 NF₃ 플라즈마 반응성 이온 식각 장치의 실리콘 식각 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
자화된 유도결합형 플라즈마 식각공정시 형성된 실리콘표면의 오염 및 손상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
자성 메모리를 위한 나노미터 크기의 자기터널접합 구조의 고밀도 플라즈마 식각
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2005 .12
플라즈마트론에 의한 실리콘의 texturing 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
자화된 평판형 유도결합 SF6 플라즈마를 이용한 게이트 폴리실리콘 극저온 건식 식각 특성의 연구
Applied Science and Convergence Technology
1997 .08
CHF₃ / C₂F6 반응성이온 건식식각에 의해 형성되는 실리콘 표면변형의 회복에 관한 연구 (Ⅱ)
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
다결정 실리콘 비휘발성 메모리를 위한 다층 구조 및 두꺼운 터널링을 이용한 전하지속시간의 향상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
이온빔 주입에 의한 실리콘 산화막 내의 실리콘 나노결정 형성 및 PL특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
증발증착법에 의해 형성된 금속 입자를 이용한 단결정 실리콘의 습식식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
확장형 히든마코브모델을 이용한 산화막 플라즈마 식각공정의 식각종료점 검출방법
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
CHF₃ / C₂F6 반응성이온 건식식각에 의해 형성되는 실리콘 표면의 잔류층 및 손상층에 관한 연구 (Ⅰ)
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
펄스 플라즈마 식각을 통한 실리콘 나노구조의 식각 특성 향상
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각에서 활성종 구성 비율에 따른 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
ICP-RIE를 이용한 실리콘 식각에 미치는 플루오르계 반응 가스의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
플라즈마 이온 식각 공정을 이용한 피라미드 구조의 결정질 실리콘 태양전지 텍스쳐링
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
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