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저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제12회 학술발표회논문개요집
발행연도
1997.2
수록면
225 - 226 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1998

헬리콘 플라즈마를 이용한 고선택비 산화막 식각에 관한 연구
김정훈 ,  김진성 ,  김윤택 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 1998.11 학술저널

1997

헬리콘 플라즈마를 이용한 고선택비 산화막 식각 특성
김정훈 ,  김진성 ,  김윤택 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 1997.02 학술대회자료

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목차

1. 서론

2. 결과 및 논의

3. 결론

4. 참고 문헌

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