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직류 아크 플라즈마트론을 이용한 플라즈마 식각 공정연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각에서 활성종 구성 비율에 따른 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
고밀도 플라즈마 식각 공정시 형성된 실리콘 표면의 오염 및 손상 제거에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
SiO₂ 원자층 식각에서 인가 전력 공정 윈도우와 플라즈마 활성종 간 상관관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
플라즈마 식각공정에서 Radial Basis Function Neural Network Model를 이용한 식각 종료점 검출
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
플라즈마 건식식각 중에 발생하는 충격에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
플라즈마 이온 식각 공정을 이용한 피라미드 구조의 결정질 실리콘 태양전지 텍스쳐링
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
반응성 이온 식각 공정을 활용한 다결정 실리콘 태양전지의 표면 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
플라즈마 증착 및 식각공정의 전산모사
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
플라즈마에 의한 웨이퍼 가열과 Si 식각 속도의 변화 모델링
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
실리콘 산화막 건식각시 발생되는 반응 부산물에 의한 오염
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
자성 메모리를 위한 나노미터 크기의 자기터널접합 구조의 고밀도 플라즈마 식각
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2005 .12
실리콘 식각 및 열처리에 따른 오염과 격자결함 변화에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
Multi-segment antenna를 이용한 실리콘 산화막의 식각 모델링
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
플라즈마 식각 공정 챔버내의 부품 식각률 감소를 위한 전처리 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
플라즈마 이온 식각공정에서의 미세 식각 형상에 관한 이론적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
증발증착법에 의해 형성된 금속 입자를 이용한 단결정 실리콘의 습식식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
Reactive Ion Etching with High Density Plasma for Two-Step Texturing
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
플라즈마 식각 공정의 Ⅲ-Ⅴ 화합물 반도체 광송수신 소자 제조제의 적용
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
펄스 플라즈마 식각을 통한 실리콘 나노구조의 식각 특성 향상
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
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