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이용수
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과
4. 결론
감사의 글
참고문헌
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이온크로마토그래피(IC)를 이용한 수산화테트라메틸암모늄(TMAH) 분석
한국분석과학회 학술대회
2015 .11
Multi-segment antenna를 이용한 실리콘 산화막의 식각 모델링
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
실리콘 산화막 건식각시 발생되는 반응 부산물에 의한 오염
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
자성 메모리를 위한 나노미터 크기의 자기터널접합 구조의 고밀도 플라즈마 식각
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2005 .12
실리콘 식각 및 열처리에 따른 오염과 격자결함 변화에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
플라즈마트론에 의한 실리콘의 texturing 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
펄스 플라즈마 식각을 통한 실리콘 나노구조의 식각 특성 향상
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
증발증착법에 의해 형성된 금속 입자를 이용한 단결정 실리콘의 습식식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각에서 활성종 구성 비율에 따른 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
플라즈마 이온 식각 공정을 이용한 피라미드 구조의 결정질 실리콘 태양전지 텍스쳐링
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
발광 분광 분석법 및 잔류가스 분석기를 이용한 NF₃ 플라즈마 반응성 이온 식각 장치의 실리콘 식각 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
반응성 이온 식각 공정을 활용한 다결정 실리콘 태양전지의 표면 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
범업계 단결로 희망의 미래를
포장계
2006 .01
자화된 평판형 유도결합 SF6 플라즈마를 이용한 게이트 폴리실리콘 극저온 건식 식각 특성의 연구
Applied Science and Convergence Technology
1997 .08
SiO₂ 식각을 위한 low angle forward reflected neutral beam 식각 system에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
Low angle forward reflection 중성빔 식각 장비를 이용한 high-k 유전체 물질의 식각 특성 관찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
플라즈마 식각공정에서 Radial Basis Function Neural Network Model를 이용한 식각 종료점 검출
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
NF3 플라즈마 식각 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
중성빔 식각과 중성빔 원자층 식각기술을 이용한 TiN/HfO2 layer gate stack structure의 저 손상 식각공정 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
고밀도 플라즈마 식각 공정시 형성된 실리콘 표면의 오염 및 손상 제거에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
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