화학기계적연마 공정에서 미소 스크래치 저발생화를 위한 가공기술 연구

김성준; 안유민; 백창욱; 김용권

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김성준 안유민 백창욱 김용권

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제19권 제8호

발행연도: 2002.8

수록면: 134 - 140 (7page)

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