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대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2002년도 하계학술발표회 논문집(Ⅱ)
발행연도
2002.6
수록면
695 - 700 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (7)

2006

공기 부상방식 이송시스템의 추진 노즐 배치방법에 따른 웨이퍼 이송 속도 평가
문인호 ,  황영규 대한기계학회 논문집 B권 2006.04 학술저널

2005

공기 부상바식 이송시스템의 추진 노즐 배치방법에 따른 웨이퍼 이송 속도 평가
문인호 ,  김동권 ,  조상준 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2005.05 학술대회자료

2004

공기부상방식 반도체 웨이퍼 이송시스템의 추진력계수
문인호 ,  황영규 설비공학논문집 2004.09 학술저널
공기부상형 웨이퍼 낱장이송 시스템의 부상 노즐에 따른 특성 평가
문인호 ,  황영규 ,  조상준 외 2명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2004.06 학술대회자료
공기부상 웨이퍼 낱장이송 시스템의 부상 및 이송특성
문인호 ,  조상준 ,  김동권 외 2명 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2004.01 학술대회자료

2003

공기부상방식 반도체 웨이퍼 이송시스템의 마찰계수 영향에 관한 연구
문인호 ,  황영규 ,  조상준 외 1명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2003.07 학술대회자료

2002

공기부상방식의 반도체 웨이퍼 반송특성에 관한 연구
문인호 ,  황영규 ,  조상준 외 1명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2002.06 학술대회자료

초록· 키워드

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Theoretical and computational analysis on levitating the thin 300㎜ silicon wafer and its moving characteristics using air film system are described in this paper. Air chamber pressure, air jet velocity, and injection angle of the nozzle were taken as concerned variables. The results of computational analysis showed that the pressure distribution between the wafer and the track system represented a parabolic-shaped graph, the wafer moving speed were linearly proportional to air flow rate, and the deceleration rate decreased as the wafer rises high, and the repulsive force that is acting on propelling and stopping the thin object were proportional to air jet velocity.

목차

ABSTRACT

1. 서론

2. 이론적 해석

3. 결과 및 고찰

4. 결론

후기

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자기 부상을 이용한 실리콘 웨이퍼 반송 시스템
안길영 ,  박기환 ,  김수현 외 1명 제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집 1995 .10

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