메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
대한기계학회 Journal of Mechanical Science and Technology Journal of Mechanical Science and Technology Vol.20 No.9
발행연도
2006.9
수록면
1,492 - 1,501 (10page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
A transportation system of single wafer has been developed to be applied to semiconductor manufacturing process of the next generation. In this study, the experimental apparatus consists of two kinds of track, one is for propelling a wafer, so called control track, the other is for generating an air film to transfer a wafer, so called transfer track. The wafer transportation speed has been evaluated by the numerical and the experimental methods for three types of nozzle position array (i.e., the front-, face- and rear-array) in an air levitation system. Test facility for 300 mm wafer has been equipped with two control tracks and one transfer track of 1500 mm length from the starting point to the stopping point. From the present results, it is found that the experimental values of the wafer transportation speed are well in agreement with the computed ones. Namely, the computed values of the maximum wafer transportation speed V<SUB>max</SUB> are slightly higher than the experimental ones by about 15~20%. The disparities in V<SUB>max</SUB> between the numerical and the experimental results become smaller as the air velocity increases. Also, at the same air flow rate, the order of wafer transportation speeds is: V<SUB>max</SUB> for the front-array ＞ V<SUB>max</SUB> for the face-array ＞V<SUB>max</SUB> for the rear-array. However, the face-array is rather more stable than any other type of nozzle array to ensure safe transportation of a wafer.
#Wafer Transfer #Air Levitation #Transportation Speed #Propulsion Nozzle #Single Substrate Transfer

목차

영어 초록
1. Introduction
2. Wafer Propulsion
3. Wafer Transportation Speed
4. Experimental Apparatus and Procedure
5. Results and Discussions
6. Conclusions
Acknowledgements
References

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
Cho, S. J., 2001, "300 mm Wafer Transportation System for Next Generation," Air Cleaning Technology (in Korean), Vol.14, No.4, pp.40~59. google schola Ferziger, J. H. and Peric, M., 1996, Computational Methods for Fluid Dynamics, ISBN 3-540-59434-5 Springer-Verlag Berlin Heidelberg New York, pp.127~143. google schola Hayashi, T. U. (e-CA TS), 2002, "The Revolution of Semiconductor Manufacturer Required Next Eeneration," Semiconductor Industrial New-spaper Forum. google schola Moon, I. H. and Hwang, Y. K., 2004, "Evaluation of a Propulsion Force Coefficients for Transportation of Wafers in an Air Levitation System," Korean Journal of Air-conditioning and Refrigeration Engineering, Vol.16, No.9, pp.820~827. google schola Oh, M. D., 1991, "Ultra-clean Clean Room Technology for GIGA Level Semiconductor," Transactions of the KSME (in Korean), Vol.41, No.6, pp.32~39. google schola

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

공기 부상바식 이송시스템의 추진 노즐 배치방법에 따른 웨이퍼 이송 속도 평가
문인호 ,  김동권 ,  조상준 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2005 .05
왜 미신을 믿는 것이 잘못인가?
김동현 철학논총 2023 .04

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-017308321