공기부상방식 웨이퍼 이송시스템의 추진 노즐 크기에 따른 추진력계수에 관한 연구

문민호 ,  조상준 ,  황영규

반도체및디스플레이장비학회지

2005 .01

Evaluation of a Wafer Transportation Speed for Propulsion Nozzle Array on Air Levitation System

In-Ho Moon ,  Young-Kyu Hwang

Journal of Mechanical Science and Technology

2006 .09

공기 부상방식 이송시스템의 추진 노즐 배치방법에 따른 웨이퍼 이송 속도 평가

문인호 ,  황영규

대한기계학회 논문집 B권

2006 .04

공기부상방식 반도체 웨이퍼 이송시스템의 마찰계수 영향에 관한 연구

문인호 ,  황영규 ,  조상준 외 1명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2003 .07

공기부상방식의 반도체 웨이퍼 반송특성에 관한 연구

문인호 ,  황영규 ,  조상준 외 1명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2002 .06

공기 부상바식 이송시스템의 추진 노즐 배치방법에 따른 웨이퍼 이송 속도 평가

문인호 ,  김동권 ,  조상준 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2005 .05

Numerical Methods in Propulsion System Design

Vale ,  iy BUCHARS’KYY

한국추진공학회 학술대회논문집

2012 .05

On-orbit Thermal Behavior of KOMPSAT Liquid-Monopropellant Hydrazine(N₂H₄) Propulsion System

김정수 ,  최환석 ,  한조영

한국추진공학회 학술대회논문집

2000 .04

클린튜브 시스템의 웨이퍼 운동 제어

신동헌 ,  최철환 ,  정규식

설비공학논문집

2004 .05

자기부상/추진 일체화를 위한 선형 스위치드 릴럭턴스 모터의 모델링

성소영 ,  조한욱 ,  성호경 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2007 .10

공기부상형 웨이퍼 낱장이송 시스템의 부상 노즐에 따른 특성 평가

문인호 ,  황영규 ,  조상준 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2004 .06

실리콘 웨이퍼 연마헤드의 강제구동 방식이 웨이퍼 연마 평탄도에 미치는 영향 연구

김경진 ,  박중윤

반도체디스플레이기술학회지

2014 .01

자기부상 물류이송시스템의 부상 및 추진제어기 설계

최대규 ,  김용태

한국지능시스템학회 논문지

2017 .04

비절삭저항 상수 변화에 따른 절삭력 분석

진도훈 ,  김종도 ,  왕일군 외 3명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2014 .04

퍼지 논리를 이용한 웨이퍼의 사이즈 추정 알고리즘

권오진 ,  최성주 ,  조현찬 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

The Trend of Development on Propulsion System of Electric Propulsion Ship

공영경

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2003 .07

CAE를 이용한 비접촉 웨이퍼 이송장치 연구

고현준 ,  박균명 ,  김옥래 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .04

Analysis of Propulsion of Moving Objects

K. Oogane ,  H. Sakuta ,  M. Shi 외 2명

KSME/JSME THERMAL and FLUID Engineering Conference

1990 .07

열역동력이 고려된 수평웨이퍼 입자침착 수치해석

유경훈 ,  오명도 ,  명현국

대한설비공학회 강연회 및 기타간행물

1994 .06

Advanced Wafer-to-Wafer and Chip-to-Wafer Bonding for 3D Integration

Bioh Kim ,  Paul Kettne ,  Stefan Pa 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06