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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.5
수록면
2,955 - 2,960 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (7)

2006

공기 부상방식 이송시스템의 추진 노즐 배치방법에 따른 웨이퍼 이송 속도 평가
문인호 ,  황영규 대한기계학회 논문집 B권 2006.04 학술저널

2005

공기 부상바식 이송시스템의 추진 노즐 배치방법에 따른 웨이퍼 이송 속도 평가
문인호 ,  김동권 ,  조상준 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2005.05 학술대회자료

2004

공기부상방식 반도체 웨이퍼 이송시스템의 추진력계수
문인호 ,  황영규 설비공학논문집 2004.09 학술저널
공기부상형 웨이퍼 낱장이송 시스템의 부상 노즐에 따른 특성 평가
문인호 ,  황영규 ,  조상준 외 2명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2004.06 학술대회자료
공기부상 웨이퍼 낱장이송 시스템의 부상 및 이송특성
문인호 ,  조상준 ,  김동권 외 2명 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2004.01 학술대회자료

2003

공기부상방식 반도체 웨이퍼 이송시스템의 마찰계수 영향에 관한 연구
문인호 ,  황영규 ,  조상준 외 1명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2003.07 학술대회자료

2002

공기부상방식의 반도체 웨이퍼 반송특성에 관한 연구
문인호 ,  황영규 ,  조상준 외 1명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2002.06 학술대회자료

초록· 키워드

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In this study, the wafer transportation speed was evaluated by numerical and experimental method for three injection nozzle array(face, front, rear) in an air levitation system. Test facility for 300 ㎜ wafer was equipped with two control tracks and a transfer track of 1.5 m length. The diameter and air velocity of injection nozzle are 0.8 ㎜, 50~100㎧ respectively. When the numerical results compared with experimental results of maximum wafer transportation speed, the numerical results are higher by 16%. The numerical result of mean wafer transportation speed is higher than experimental result about 20% in front array and 18% in face array.
#Clean Room(클린룸) #Wafer(웨이퍼) #Air Levitation(공기 부상) #Transportation Speed(이송 속도) #Injection Nozzle(추진 노즐)

목차

Abstract
1. 서론
2. 웨이퍼 추진
3. 웨이퍼 이송 속도
4. 실험장치 및 방법
5. 실험결과 및 고찰
6. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

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공기부상형 웨이퍼 낱장이송 시스템의 부상 노즐에 따른 특성 평가
문인호 ,  황영규 ,  조상준 외 2명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2004 .06
Evaluation of a Wafer Transportation Speed for Propulsion Nozzle Array on Air Levitation System
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왜 미신을 믿는 것이 잘못인가?
김동현 철학논총 2023 .04

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