Ion Beam Induced Processes in Sputtering of Ta₂O5 / Si Interfaces.

문대원 ,  김경중 ,  김상열

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

Deposition of Cu films on Si substrate by Partially Ionized Beam deposition and Ion beam sputtering

Ki-Hwan Kim ,  Hong-Gui Jang ,  Sung Han 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Oxidation Mechanism of Si in the Growth of SiOx Thin Film by Ion Beam Sputter Deposition

Kyung Joong Kim ,  Dae Won Moon ,  Moon-Seung Yang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Growth of Ta₂O5 Thin Film by Dual Ion Beam Assisted Deposition and in - situ Surface Analysis

조용범 ,  김경중 ,  구경완 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

ITO deposition by Ion beam sputtering

한영건 ,  조준식 ,  최성창 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

A Novel Large Area Negative Sputter Ion Beam Source and Its Application

Steven Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

The formation of dense Si nanocrystals in Si/Si₃N₄ superlattices by the ultra high vacuum ion beam sputtering deposition

Se-Young Seo ,  In Yong Kim ,  Young Heon Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Linear Ion Beam Applications for Roll-to-Roll Metal Thin Film Coatings on PET Substrates

Seunghun Lee ,  Do-Geun Kim

Applied Science and Convergence Technology

2015 .09

A study of sputter XPS depth profiling of Ta₂O5 / Si without preferential sputtering problems.

김경중 ,  문대원

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

High rate deposition of poly - si thin films using new magnetron sputtering source

Jin-Hyo Boo ,  Heon Kyu Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Epitaxial Growth of Y₂O₃ films by Ion Beam Assisted Deposition.

C. N. Whang

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Ion Beam Energy effect of the Carbon Nitride Thin Film formation by Direct Dual Ion Beam Deposition

김용환 ,  최동준 ,  한동원 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Visible luminescence from nanocrystalline silicon films produced by Ion - beam sputtering deposition

Jun-Sung Bae ,  Suk-Ho Choi ,  Keyng-Joong Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Ion Beam Sputter 증착조건에 따른 구조적 특성 분석

유병윤 ,  박재환 ,  빈석민 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

RF-스퍼터링 기법으로 제작한 Fe₃O₄ 박막에 Ta 기저층이 미치는 효과

국지현 ,  이년종 ,  배유정 외 1명

한국자기학회지

2015 .04

Direct Metal Ion Beam Deposition and its Applications

Seong In Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Ion Beam Sputtering 방법에 의한 Transparent electrode용 ZnO Film 연구

박용욱 ,  최성창 ,  윤석진 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Epitaxy of Si and Si₁_xGex(001) by ultrahigh vacuum ion - beam sputter deposition

N.-E. Lee ,  J. E. G ,  eene

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

1998 .10

Topographic Development on Ion Beam Sputtered Surfaces.

문대원 ,  김경중 ,  K.Yoshiha 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07

Application of Ar Gas Cluster Ion Beam Sputtering to surface analysis for oxide thin films

Chanae Pa ,  k ,  Kangil Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08