Study of Magnetic Field Shielded Sputtering Process as a Room Temperature High Quality ITO Thin Film Deposition Process

JunYoung Lee ,  YunSung Jang ,  YouJong Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Deposition of Cu films on Si substrate by Partially Ionized Beam deposition and Ion beam sputtering

Ki-Hwan Kim ,  Hong-Gui Jang ,  Sung Han 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Effect of Ar ion Sputtering on the Surface Electronic Structure of Indium Tin Oxide

Hyunbok Lee ,  Sang Wan Cho

Applied Science and Convergence Technology

2016 .11

A Novel Large Area Negative Sputter Ion Beam Source and Its Application

Steven Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Linear Ion Beam Applications for Roll-to-Roll Metal Thin Film Coatings on PET Substrates

Seunghun Lee ,  Do-Geun Kim

Applied Science and Convergence Technology

2015 .09

Flat - surface indium tin oxide (ITO) films prepared by ion beam sputtering

Younggun Han ,  Jun-Sik Cho ,  Seok-Keun Koh 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Improved Electrical and Optical Properties of ITO Films by Using Electron Beam Irradiated Sputter

Sung Min Wie ,  Joon Seop Kwak

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Ion Beam Sputter 증착조건에 따른 구조적 특성 분석

유병윤 ,  박재환 ,  빈석민 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Direct Metal Ion Beam Deposition and its Applications

Seong In Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Topographic Development on Ion Beam Sputtered Surfaces.

문대원 ,  김경중 ,  K.Yoshiha 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07

Oxidation Mechanism of Si in the Growth of SiOx Thin Film by Ion Beam Sputter Deposition

Kyung Joong Kim ,  Dae Won Moon ,  Moon-Seung Yang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Tilted angle sputter를 이용한 복층 굴절 ITO 반사방지막 연구

Junyoung Kang ,  Anh Le Tuan Le ,  Hyeongsik Pa 외 2명

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2015 .02

Ion Beam Assisted Deposition System의 제작 및 자동화

손영호 ,  강창덕 ,  신희성 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Growth and Chracterization of Ta₂05 Thin Films on Si by Ion Beam Sputter Deposition

K. S. Pa ,  k ,  D. Y. Lee 외 2명

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1995 .06

Ion Beam Energy effect of the Carbon Nitride Thin Film formation by Direct Dual Ion Beam Deposition

김용환 ,  최동준 ,  한동원 외 1명

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1997 .07

Visible luminescence from nanocrystalline silicon films produced by Ion - beam sputtering deposition

Jun-Sung Bae ,  Suk-Ho Choi ,  Keyng-Joong Kim 외 1명

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2002 .06

전자빔 조사에 따른 Flexible ITO Film의 특성 향상에 대한 연구

황진예 ,  남상훈 ,  김용환 외 1명

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2013 .02

RF magnetron sputter에 의해 제조된 ITO/Cu/ITO 다층박막의 전기ㆍ광학적 특성에 관한 연구

박환진 ,  최종인 ,  이재영 외 4명

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2008 .02

필름 폭 1300 mm Roll to roll ITO coating sputter 장비의 특성 과 ITO 박막의 전기 및 광학 특성

조용범 ,  손형주 ,  홍기성 외 2명

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2014 .08

Ion Beam Induced Processes in Sputtering of Ta₂O5 / Si Interfaces.

문대원 ,  김경중 ,  김상열

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02