Deposition of Cu films on Si substrate by Partially Ionized Beam deposition and Ion beam sputtering

Ki-Hwan Kim ,  Hong-Gui Jang ,  Sung Han 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Growth and Chracterization of Ta₂05 Thin Films on Si by Ion Beam Sputter Deposition

K. S. Pa ,  k ,  D. Y. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

ITO deposition by Ion beam sputtering

한영건 ,  조준식 ,  최성창 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Ion Beam Sputtering Deposition을 이용한 SiOx / SiO₂ singlelayer 및 multilayers 에 생성된 Si nanocrystal의 비휘발성 메모리 효과 연구

홍승휘 ,  황형선 ,  최석호 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Microstructure and Properties of Er - SiOX Films Synthesized by Ion Beam Assisted Deposition

Gao Song Duan ,  Shu Qing Zheng ,  Xiao Juan Zhang 외 2명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

2002 .06

Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition을 이용한 SiOx 박막 형성

김가영 ,  박재범 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Photoluminescence properties by control of the oxygen content and thickness in SiOx / SiO₂superlattices prepared by ion beam sputtering

Moon-Seung Yang ,  Ji-Hong Jhe ,  Jung H. Shin 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Low-temperature remote plasma-enhanced chemical deposition of SiOx thin films on organic substrate

김덕진 ,  황진영 ,  이내응

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .08

Ion Beam Induced Processes in Sputtering of Ta₂O5 / Si Interfaces.

문대원 ,  김경중 ,  김상열

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

High energy-electron-beam induced modification of Aluminum and Titanium films on SiOx

이경재 ,  임규욱 ,  강태희 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Characteristics of SiOx thin films deposited by atmospheric pressure chemical vapor deposition using a double discharge system

박재범 ,  길엘리 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

A Novel Large Area Negative Sputter Ion Beam Source and Its Application

Steven Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

The formation of dense Si nanocrystals in Si/Si₃N₄ superlattices by the ultra high vacuum ion beam sputtering deposition

Se-Young Seo ,  In Yong Kim ,  Young Heon Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Linear Ion Beam Applications for Roll-to-Roll Metal Thin Film Coatings on PET Substrates

Seunghun Lee ,  Do-Geun Kim

Applied Science and Convergence Technology

2015 .09

High rate deposition of poly - si thin films using new magnetron sputtering source

Jin-Hyo Boo ,  Heon Kyu Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Epitaxial Growth of Y₂O₃ films by Ion Beam Assisted Deposition.

C. N. Whang

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Ion Beam Energy effect of the Carbon Nitride Thin Film formation by Direct Dual Ion Beam Deposition

김용환 ,  최동준 ,  한동원 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Visible luminescence from nanocrystalline silicon films produced by Ion - beam sputtering deposition

Jun-Sung Bae ,  Suk-Ho Choi ,  Keyng-Joong Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Ion Beam Sputter 증착조건에 따른 구조적 특성 분석

유병윤 ,  박재환 ,  빈석민 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Low Temperature PECVD for SiOx Thin Film Encapsulation

Hyung June Ahn ,  Sang Heon Yong ,  Sun Jung Kim 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02