Growth and Chracterization of Ta₂05 Thin Films on Si by Ion Beam Sputter Deposition

K. S. Pa ,  k ,  D. Y. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

A Novel Large Area Negative Sputter Ion Beam Source and Its Application

Steven Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

A study of sputter XPS depth profiling of Ta₂O5 / Si without preferential sputtering problems.

김경중 ,  문대원

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

Oxygen Ion Beam Induced Abnormal Topographic Development at the Ta / Si Interface Studied by SIMS, XPS, and AFM

K. T. Kim ,  D. W. Moon ,  I. C. Jeon

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Ion Beam Sputter 증착조건에 따른 구조적 특성 분석

유병윤 ,  박재환 ,  빈석민 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Topographic Development on Ion Beam Sputtered Surfaces.

문대원 ,  김경중 ,  K.Yoshiha 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07

ITO deposition by Ion beam sputtering

한영건 ,  조준식 ,  최성창 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Atomic layer deposition of high-k dielectrics on graphene through controlled Ar⁺ Ion beam process

You Jin JI ,  Ki Seok KIM ,  Ki Hyun KIM 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Linear Ion Beam Applications for Roll-to-Roll Metal Thin Film Coatings on PET Substrates

Seunghun Lee ,  Do-Geun Kim

Applied Science and Convergence Technology

2015 .09

The formation of dense Si nanocrystals in Si/Si₃N₄ superlattices by the ultra high vacuum ion beam sputtering deposition

Se-Young Seo ,  In Yong Kim ,  Young Heon Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Photoemission spectroscopy of Ta₂O5 / Si(001) and Ta₂O5 / SiO₂ / Si(001) along its depth.

Ki-jeong Kim ,  T.-H. Kang ,  Y.J. Pa 외 10명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Oxidation Mechanism of Si in the Growth of SiOx Thin Film by Ion Beam Sputter Deposition

Kyung Joong Kim ,  Dae Won Moon ,  Moon-Seung Yang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

The transient sputtering yield change of an amorphous Si layer by low energy O₂+ and Ar+ ion bombardment

Hye Chung Shin ,  Hee Jae Kang ,  Hyung Ik Lee 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2003 .10

Deposition of Cu films on Si substrate by Partially Ionized Beam deposition and Ion beam sputtering

Ki-Hwan Kim ,  Hong-Gui Jang ,  Sung Han 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Nano-patterns formed of Au(001) by dual ion beam sputtering

조민웅 ,  김재성

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .08

Nano-bead structure by subsequent ion beam sputtering

김지현 ,  하늘빛 ,  김재성

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Application of Ar Gas Cluster Ion Beam Sputtering to surface analysis for oxide thin films

Chanae Pa ,  k ,  Kangil Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

The effects of the co-deposited Si on the pattern formation of Au(001) during ion-beam-sputtering

Saeah ,  am Yoo ,  B Moon 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

Ion Beam Sputtering 방법에 의한 Transparent electrode용 ZnO Film 연구

박용욱 ,  최성창 ,  윤석진 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

RF-스퍼터링 기법으로 제작한 Fe₃O₄ 박막에 Ta 기저층이 미치는 효과

국지현 ,  이년종 ,  배유정 외 1명

한국자기학회지

2015 .04