PECVD 방법을 이용한 DLC 박막의 증착

조영옥 ,  조정민 ,  윤원주 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

ECR - PECVD로 증착된 a - C : H 박막의 열처리 효과

손영호 ,  정우철 ,  정재인 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

ECR - PECVD 방법으로 증착된 a-C:H 박막의 수소함량 측정

손영호 ,  허영준 ,  정우철 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

The properties of diamond - like carbon(DLC) films prepared using ECR - PECVD and its dependence on deposition parameters

손영호 ,  박노길 ,  박형국 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

ECR - PECVD 방법으로 제작된 DLC 박막의 기판 Bias 전압 효과

손영호 ,  정우철 ,  정재인 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2000 .12

PECVD 장비를 이용해 증착시킨 DLC 박막의 첨가원소(a-C:H:X)에 따른 기계적 특성

김준형 ,  문경일 ,  박종완

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

PECVD 장비를 이용해 증착시킨 DLC 박막의 첨가원소(a-C:H:X)에 따른 고내식, 내열 특성

김준형 ,  문경일 ,  박종완

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

ECR - PECVD 장치의 제작과 특성

손영호 ,  정우철 ,  정재인 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2000 .02

Ti-DLC 증착 방법에 따른 특성 비교

이나래 ,  박현준 ,  문경일 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

DLC 박막의 기계적 특성 평가

한준희 ,  이광렬 ,  김광석 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Titanium 첨가 방법에 따른 DLC 특성 비교

이나래 ,  박현준 ,  문경일 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Optimization and Application of Si-DLC Coating with Low Friction and High Hardness Property by Using PECVD Method

여기호 ,  문종철 ,  신의철 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

DLC 박막 기판의 구조변화를 이용한 탄소나노튜브의 합성

김영이 ,  김세환 ,  최재원 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .02

ECR - PECVD 방법으로 제조한 a-C:H 박막의 결합구조

손영호 ,  정우철 ,  정재인 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2000 .12

ECR - PECVD 방법으로 증착된 a-C:H 박막의 수소함량 측정

손영호 ,  정우철 ,  정재인 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2001 .04

PECVD 공정에 의해 제작된 SION박막 특성 분석

정재욱 ,  추성중 ,  박정호

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Preparation and Characterization of DLC Films on Si - wafer using Organic Compounds by PECVD

Chun Min-Seung ,  Jong Gi Jee

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Si 이온의 첨가가 DLC 박막의 기계적 특성에 미치는 영향

김대영 ,  박민석 ,  김왕렬 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Si₃N₄ 기판 위에 PECVD법으로 형성한 tungsten nitride 박막의 특성

배성찬 ,  이종현 ,  최시영

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

복층구조로 증착시킨 DLC 박막의 기계적 특성 분석

조윤혜 ,  최원석 ,  박용섭 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .08