PECVD 공정을 통한 ACL 증착 중 발생 입자의 특성변화 관찰

김동빈 ,  김종호 ,  신재수 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

PECVD Synthesis of WS₂ for Hydrogen Evolution Catalysis

Kanade Vinit ,  Hyeong-U Kim ,  Seokjun Hong 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Stabilization of Real-time Thickness monitoring system in PECVD chamber

이철 ,  황혜주 ,  박상호 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

상압 플라즈마를 이용한 고품질 고속증착 실리콘 박막의 증착

장지훈 ,  조원기 ,  송창훈 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

PECVD를 통해 향상된 SiN/SiO2/ITO 다층박막의 무반사 효과에 대한 연구

최민준 ,  권세라 ,  송애란 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

성장 온도에 따른 원자층 증착법으로 증착된 SiO₂ 박막의 특성

박건 ,  김인서 ,  선호정 외 3명

새물리

2023 .01

Low-Temperature Synthesis of Wafer Scale WS₂ by PECVD

Kanade Vinit ,  김형우 ,  박근상 외 1명

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2019 .02

실시간 입자 복합특성 분석장치를 이용한 pecvd 공정 발생 입자의 분석 연구

김동빈 ,  문지훈 ,  김형우 외 3명

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2015 .02

Passivation Properties of Hydrogenated Silicon Nitrides deposited by PECVD

Jae Eun Kim ,  Kyung Dong Lee ,  Yoonmook Kang 외 2명

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2016 .02

상압 플라즈마를 이용한 저온 증착 공정

박형규 ,  최승연 ,  장지훈 외 1명

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2019 .08

Optimized ultra-thin tunnel oxide layer characteristics by PECVD using N₂O plasma growth for high efficiency n-type Si solar cell

Minhan Jeon ,  Jiyoon Kang ,  Donghyun Oh 외 8명

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2016 .02

Solving the RF coupling issue between chambers that share the ground in one PECVD system

Chul Lee ,  Yeajin Shin ,  Hojun Lee 외 1명

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2020 .08

Synthesis of SiNx:H films in PECVD using RF/UHF hybrid sources

K. S. Shin ,  B. B. Sahu ,  J. S. Lee 외 3명

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2015 .08

플렉서블 가스 센서 응용을 위한 화학기상증착법 기반 MoO₃ 박막 합성

손주현 ,  안치성 ,  김형우 외 4명

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2016 .02

Variation of reflectivity and colour in SnO₂/Ag/SnO₂ structure with Nb₂O₅ and SiO₂ index matching layer

Sang-Moo YOON ,  Gun-Eik JANG

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2016 .08

Effect of plasma properties on characteristics of silicon nitride film deposited by PECVD process at low temperature

Jeon G. HAN ,  Jun S. LEE ,  Bibhuti B. SAHU 외 3명

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2016 .08

Low-temperature PECVD silicon nitride film for the fabrication of capacitance type pressure sensor

Kyeong-Keun CHOI ,  Kee JONG ,  Jeong-Yoon LEE 외 1명

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2016 .08

PECVD 공정에 의한 유기 금속계 중간층과 비정질 탄화수소층의 저마찰 코팅 개발에 관한 연구

최유리 ,  전예슬 ,  문경일 외 1명

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2017 .02

C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각의 SiO2 두께 변화 해석 모델

이영석 ,  성인호 ,  이장재 외 4명

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2020 .02

Synthesis of silicon nitride thin film for high permeation barrier performance with RF power variation on hollow cathode RF PECVD

김석현 ,  이준석 ,  B.B.Sahu 외 1명

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2018 .02