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태양전지 적용을 위한 PECVD 실리콘 질화막 증착 및 가스비 가변에 따른 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
200℃에서 PECVD로 증착한 실리콘질화막의 특징
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Toluene precursor를 사용하여 PECVD에 의해 증착된 law - k 유기박막의 증착온도의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
PECVD 플라즈마 파워 가변에 따른 SiNx 증착 및 결정질 태양전지 효율 향상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
이종접합 태양전지를 위한 PECVD 방식으로 증착 된 Intrinsic a-Si:H layer 최적화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
상압 플라즈마를 이용한 고품질 고속증착 실리콘 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
PECVD 로 증착한 비정질 실리콘 박막의 고온결정화
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
PECVD 증착조건 변화에 따른 a-C:H 박막의 구조 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
유기 금속 화학 증착법에 의해서 실리콘 기판위에 성장된 GaAs 단일접합 태양전지
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
PECVD 공정에 의해 증착된 비정질 실리콘 박막의 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
PECVD 증착 변수와 in - situ IR cell 을 이용한 온도별 a - Si : H 의 특성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
PECVD 방법을 이용한 DLC 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
PECVD로 증착된 a - Si : H의 고상결정화에 있어서 기판온도의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
PECVD를 이용한 SiO₂ 증착에서 전극 간격에 따른 증착률과 균일도 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
PECVD로 증착된 Silicon Nitride 박막의 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
ECR - PECVD로 증착된 a - C : H 박막의 열처리 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
실리콘 태양전지 고효율화 소재, 기술 동향 및 향후 전망
한국태양광발전학회지
2015 .06
실리콘 산화물 및 질화물 증착을 위한 신규 실리콘 증착소재의 실시간 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
PECVD법에 의해 증착된 plasma polymerized ethylenediamine 박막의 표면 - NH₂ 밀도와 증착변수와의 상관관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
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