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UBM 스퍼터링 소스를 이용한 TiN 박막의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
UBM 스퍼터링을 이용한 생체전극용 백금 코팅
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
UBM 스퍼터링을 이용한 Al 박막의 치밀도 향상 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
Dual 및 Rectangular형 UBM 스퍼터링 소스의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
스퍼터링을 이용한 ITO 박막의 저온 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
Effect of Rapid Thermal Annealing on the Properties of Nitrogen-doped In2O3 Thin Films
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
스퍼터링에 의한 금속 나노박막 증착에서 광학적 특성을 이용한 in - situ 박막 두께 측정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
스퍼터링 방법으로 증착한 RuO₂ 박막의 구조 및 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
DC 스퍼터링법으로 제작된 ITO 박막의 증착조건에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
반응성 r.f. 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO 박막의 물성과 압전특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
Pulse - CVD를 이용한 gate용 Ta₂O5 박막의 증착 및 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
스퍼터링 방식에 의해 증착되어진 나노결정 탄소박막의 특성 및 유기박막트랜지스터에 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
고주파 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 응력 형성
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
스퍼터링으로 증착한 ZnO 박막의 미세구조 및 우선 배향성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
자장의 분포를 제어한 스퍼터링 증착 시 상온에서의 ITO 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
스퍼터링 소스를 이용하여 빗각 증착되어진 TiN 박막의 형상 및 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
UBM 스퍼터링법으로 코팅한 벌크비정질합금(BMG) 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
Hybrid FVA증착법에 의해 합성된 ta - C / ta - C : Si 다층 박막에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
증착 온도가 이온빔 스퍼터링 법으로 제조된 ZnO : Al 박막의 전기적 광학적 특성에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
스퍼터링 소스를 이용하여 빗각 증착되어진 TiN 박막의 공정조건에 따른 형상 및 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
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