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학술대회자료
저자정보
박혜선 (포항산업과학연구원) 양지훈 (포항산업과학연구원) 장승현 (포항산업과학연구원) 정재인 (포항산업과학연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제39회 하계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.8
수록면
67 - 67 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

UBM 스퍼터링을 이용한 Al 박막의 치밀도 향상 연구
박혜선 ,  양지훈 ,  장승현 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.08 학술대회자료
UBM 스퍼터링을 이용한 치밀한 Al 박막 코팅
박혜선 ,  정재인 ,  양지훈 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2010.05 학술대회자료

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