반응성 r.f. 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO 박막의 물성과 압전특성

신진성; 임원택; 이창효

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 신진성 임원택 이창효

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제15회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1998.7

수록면: 55 - 56 (2page)

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