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UBM 스퍼터링 소스를 이용한 TiN 박막의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
UBM 소스 설계를 위한 자기장 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
UBM 스퍼터링을 이용한 Al 박막의 치밀도 향상 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
UBM 스퍼터링을 이용한 생체전극용 백금 코팅
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
UBM 스퍼터링을 이용한 불용성 전극용 Ta 박막의 증착 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
Unbalance Magnetron 스퍼터링 소스의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
고속 스퍼터링 소스를 이용한 구리 후막 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
그리드를 이용한 DC 마그네트론 스퍼터링 소스의 플라즈마 특성에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
UBM 스퍼터링법으로 코팅한 벌크비정질합금(BMG) 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
Unbalanced DC 마그네트론 스퍼터링 소스의 플라즈마 특성에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
TMP station을 이용한 UBMS(Unbalanced Magnetron sputtering) 시스템 설계와 자석 비율 및 전자석에 의한 플라즈마 형상 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
Effect of Rapid Thermal Annealing on the Properties of Nitrogen-doped In2O3 Thin Films
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
고밀도 플라즈마 소스를 적용한 고효율 스퍼터링 공정 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
디저트용 소스
베이커리
2001 .01
클로로필 고생산성 Chlorella vulgaris 변이주의 특성 분석
한국미생물·생명공학회지
2015 .01
스퍼터링 소스를 이용하여 빗각 증착되어진 TiN 박막의 공정조건에 따른 형상 및 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
플라즈마를 이용한 고효율 스퍼터링 공정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
UBM Sputtering에 의해 증착된 Boron Nitride 막의 미세구조와 압축응력의 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
스퍼터링 소스를 이용하여 빗각 증착되어진 TiN 박막의 형상 및 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 성장된 V₂O5 박막의 광학적 특성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
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