지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2015.2
- 수록면
- 272 - 272 (1page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (7)
2015
2014
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
스퍼터링 소스를 이용하여 빗각 증착되어진 TiN 박막의 형상 및 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
-
빗각 증착으로 제조된 TiN 박막의 스트레스 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
-
빗각 증착으로 제조된 TiN 박막의 스트레스 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
-
빗각 증착으로 제조된 알루미늄 박막의 조직변화와 부식 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
-
공정 조건 변화에 따른 TiN 코팅층의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
-
고속 스퍼터링 소스를 이용한 구리 후막 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
-
빗각 증착 방법을 이용하여 코팅 된 알루미늄 박막의 내식성 확인
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
-
스퍼터링 공정 중 알루미늄 타겟 오염이 알루미늄 산화막 증착에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
-
빗각 증착으로 제조한 질화 티타늄 박막의 조직 및 특성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
-
스퍼터링법으로 증착한 SnS 박막 태양전지의 효율 개선
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
-
2D PIC 시뮬레이션을 이용한 마그네트론 스퍼터링 증착 공정의 이온 특성 변화 분석 및 증착 모델링
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
-
DC 마그네트론 스퍼터링 증착법을 이용한 산화 티타늄 박막의 표면 형태와 조성 제어에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
-
스퍼터링 전력 변화에 따른 SnS 박막의 구조적 및 광학적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
-
음극 아크 증착과 스퍼터링의 Hybrid 공정으로 제작된 TiAlSiN 박막 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
-
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 SnS 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
-
RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 증착된 BiFeO₃-CoFe₂O₄ 나노복합체 박막의 자성 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2017 .05
-
[보호진공과학상] RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO:Al 박막의 열공정에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
-
La0.88Sr0.12MnO₃ 박막의 증착 조건 및 물리적 특성 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2016 .05
-
Thermal Dewetting Process를 이용한 비주기 서브파장 구조물의 제작방법
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
-
상압 플라즈마를 이용한 고품질 고속증착 실리콘 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2016-420-001458034