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UBM 스퍼터링을 이용한 불용성 전극용 Ta 박막의 증착 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
Dual 및 Rectangular형 UBM 스퍼터링 소스의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
UBM 스퍼터링 소스를 이용한 TiN 박막의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
UBM 스퍼터링을 이용한 Al 박막의 치밀도 향상 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
UBM 스퍼터링법으로 코팅한 벌크비정질합금(BMG) 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
UBM 소스 설계를 위한 자기장 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
고속 스퍼터링 소스를 이용한 구리 후막 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
스퍼터링으로 PET 위에 코팅된 ITO박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
TMP station을 이용한 UBMS(Unbalanced Magnetron sputtering) 시스템 설계와 자석 비율 및 전자석에 의한 플라즈마 형상 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
Effect of Rapid Thermal Annealing on the Properties of Nitrogen-doped In2O3 Thin Films
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
플라즈마를 이용한 고효율 스퍼터링 공정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
회전 원통형 스퍼터링 공법으로 하여 성막한 ITO투명 전극의 두께에 따른 전기적, 광학적, 구조적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
이온 빔 스퍼터링 방법으로 제작한 Mo 박막의 특성조사
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
클로로필 고생산성 Chlorella vulgaris 변이주의 특성 분석
한국미생물·생명공학회지
2015 .01
물리적 기상증착법을 이용한 내지문(Anti-Finger Print) 코팅 최적 공정 및 박막특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
UBM Sputtering에 의해 증착된 Boron Nitride 막의 미세구조와 압축응력의 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
태양전지 자기세정 코팅을 위한 스퍼터링되어진 TiO₂ 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
단일 타겟을 이용한 반응성 마그네트론 스퍼터링 공정에 의한 나노 복합구조의 MoN-Cu 코팅층 형성 기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
백금 결정 성장시 줄무늬 구조 제어
Applied Science and Convergence Technology
1996 .12
스퍼터링를 이용한 주석 박막의 형상제어
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
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