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스퍼터링 소스를 이용하여 빗각 증착되어진 TiN 박막의 공정조건에 따른 형상 및 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
빗각 증착으로 제조된 TiN 박막의 스트레스 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
빗각 증착으로 제조된 TiN 박막의 스트레스 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
빗각 증착으로 제조된 알루미늄 박막의 조직변화와 부식 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
공정 조건 변화에 따른 TiN 코팅층의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
스퍼터링법으로 증착한 SnS 박막 태양전지의 효율 개선
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
빗각 증착 방법을 이용하여 코팅 된 알루미늄 박막의 내식성 확인
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
스퍼터링 전력 변화에 따른 SnS 박막의 구조적 및 광학적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
빗각 증착으로 제조한 질화 티타늄 박막의 조직 및 특성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
고속 스퍼터링 소스를 이용한 구리 후막 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
DC 마그네트론 스퍼터링 증착법을 이용한 산화 티타늄 박막의 표면 형태와 조성 제어에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 SnS 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
증착 공정시 실시간 두께 측정 및 박막 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
스퍼터링 공정 중 알루미늄 타겟 오염이 알루미늄 산화막 증착에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
음극 아크 증착과 스퍼터링의 Hybrid 공정으로 제작된 TiAlSiN 박막 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
N₂ 분위기에서 RF magnetron sputtering 방법으로 증착된 TiN박막의 열처리 온도에 따른 내마모 특성 및 표면구조특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 FeSu₂ 박막의 기판 온도에 따른 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
증착온도에 따른 Fe 박막의 구조적, 자기적 특성 변화 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2016 .11
RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 증착된 BiFeO₃-CoFe₂O₄ 나노복합체 박막의 자성 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2017 .05
증착 에너지의 변화에 따른 박막특성 분석 및 수직자기이방성 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2016 .05
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