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스퍼터링을 이용한 ITO 박막의 저온 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
자장의 분포를 제어한 스퍼터링 증착 시 상온에서의 ITO 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
대향타겟식 스퍼터링법으로 제작된 ITO박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
마그네트론 스퍼터링법에 의해 저온 증착된 ITO 및 IZO 박막에 대한 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
DC MAGNETRON SPUTTERING 법에 의한 IT 로 제작한 ITO 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
스퍼터링으로 PET 위에 코팅된 ITO박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
유도 결합 플라즈마 스퍼터링 법에 의해 합성된 ITO 박막의 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
DC/RF 중첩형 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ITO 초박막의 SnO2 함량에 따른 전기적 ,광학적 특성 및 미세구조 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
인라인 스퍼터링 진공 증착장치를 이용한 ITO 투명 도전 박막의 전기적ㆍ광학적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
RF 혼용 DC 스퍼터링 공정으로 증착된 ITO 박막 특성 및 유기태양전지 응용 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
상온 증착된 ITO 박막의 열처리 조건에 따른 물리적 특성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
DC 반응성 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 TaN 박막의 특성 및 신뢰성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
저온 스퍼터링법으로 증착된 ITO박막의 온도 변화에 따른 구조, 표면 및 전기적 특성
Applied Science and Convergence Technology
2011 .01
듀얼 마그네트론 스퍼터링를 이용한 ITO 박막 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
Effect of Rapid Thermal Annealing on the Properties of Nitrogen-doped In2O3 Thin Films
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
DC 마그네트론 스퍼터링 증착법을 이용한 산화 티타늄 박막의 표면 형태와 조성 제어에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
고주파 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 응력 형성
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
스퍼터링 방법으로 증착한 RuO₂ 박막의 구조 및 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
반응성 r.f. 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO 박막의 물성과 압전특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
스퍼터링에 의한 금속 나노박막 증착에서 광학적 특성을 이용한 in - situ 박막 두께 측정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
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