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C₃F6O 가스를 이용한 SiO₂에 대한 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
Applications of fluid based plasma simulation : dry etch
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
3D feature profile simulation for nanoscale semiconductor plasma processing
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
GPU Based Feature Profile Simulation for Deep Contact Hole Etching in Fluorocarbon Plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
3D feature profile simulation of SiO2 etching with spatial-averaged plasma analysis
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
Ar/CxF2xO(X=3,6) 혼합가스를 이용한 친환경 SiO₂ 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Oxygen Plasma Characterization Analysis for Plasma Etch Process
동굴
2007 .01
MoS2 layer etching using CF4 plasma and H2S plasma treatment
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Characteristics of SiO₂ Etching in a C4F8/Ar/O₂ pulse modulation capacitively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Plasma Dry Etching 방법에 의한 Wafer Backside Etch 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
The optimize of chamber recovering conditions in plasma etching processes
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Sub-10 nm 수직 배향 DSA etch profile 향상에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Real-time Advanced Process Control Technology Using Optical Emission Spectroscopy in Dry Etching Process
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
플라즈마 이온 식각공정에서의 미세 식각 형상에 관한 이론적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
The Plasma Characterization of Multiple RF Power for Oxide Via Etching Process
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
Development of an Improved Numerical Methodology for Design and Modification of Large Area Plasma Processing Chamber
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
Etching Characteristics of Au Film using Capacitively Coupled CF4/Ar Plasma
동굴
2007 .01
Simulation enhanced optimization for by-product removal during etch process
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
CFD-Plasma & K-Plasma를 이용한 plasma simulation
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Plasma Etching Process based on Real-time Monitoring of Radical Density and Substrate Temperature
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
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