RF 스퍼터링과 이온소스 복합방식에 의한 플라스틱사출금형(SKD11)의 DLC막 응용

김미선; 홍성필

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김미선 ((주)케이디엘씨) 홍성필

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제42권 제4호

발행연도: 2009.8

수록면: 173 - 178 (6page)

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DLC film was synthesized on plastic injection mold(SKD11, 30 ㎜× 19 ㎜× 0.5 ㎜) and Si(100) wafer for 2 h at 130℃ under 6 mTorr using hybrid method of rf sputtering and ion source. The obtained film was analysed by Raman spectroscopy, AFM, TEM, Nano indenter and scratch tester, etc. The film was defined as an amorphous phase. In the Raman spectrum, broad peak of sp²-bonded carbon attributed to graphite at 1550 ㎝<SUP>?1</SUP> were observed, and the ratio of ID(sp³ diamond intensity)/IG(sp² graphite intensity) was approximately 0.54. The adhesion of DLC film was more than 80 N with scratch tester when 0.2 ㎛ thickness Cr was coated as interlayer. The micro-hardness was distributed at 35~37 ㎬. The friction coefficient was 0.02~0.07, and surface roughness(Ra) was 0.34~1.64 ㎚. The lifetime of DLC coated plastic injection mold using as a connector part in computer was more than 2 times of non-coated mold.

#DLC #RF sputtering #Raman spectroscopy #Friction coefficient #Adhesion

참고문헌 (11)

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1. [학술대회논문] - 김미선 / 2007 / / 한국표면공학회 추계학술발표회 초록집 : 164 ~

2. [학술지(정기간행물)] - G. J. Vadentop / 1991 / / J. Vac. Sci. Technol A9 : 1157 ~

3. [학술지(정기간행물)] - N. Savvides / 1986 / / J. Appl. Phys. 59 : 4133 ~

4. [학술지(정기간행물)] - B. A. Banks / 1982 / / J. Vac. Sci. Technol. 21 : 807 ~

5. [학술지(정기간행물)] - C. B. Collins / 1989 / / Appl. Phys. Lett. 54 : 216 ~

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