지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
1999
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
Ar 전자빔 플라즈마에서 외부 그리드 전압이 플라즈마 변수에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
유도 결합 플라즈마에서 그리드 전압에 의한 플라즈마변수 제어에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
유도 결합 플라즈마에서 그리드 전압에 의한 플라즈마변수 제어에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
두 개의 그리드를 이용한 개선된 마그네트론 플라즈마에서 플라즈마 특성 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
이온 주입 공정용 유도 결합 플라즈마에서 이온 밀도 및 플라즈마 발생 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
NH₃/N₂/SiH₄ 유도결합 플라즈마 방전에서 중성종 및 활성종의 플라즈마 변수 의존성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
CF4/Ar 자화유도결합 플라즈마의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
세슘을 이용한 플라즈마 음이온빔 장치 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
CF4/O2 Gas를 사용한 디스플레이용 ICP 장비의 플라즈마 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
글로벌 모델에 의한 CF₄플라즈마에서의 라디칼 및 이온 밀도 계산
Applied Science and Convergence Technology
1998 .11
유도 결합 산소 플라즈마에서 고조화파 분석법을 이용한 음이온 공간 분포 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
CF₄ 유도결합플라즈마를 이용한 식각 장치의 바이어스 전극에서 측정 된 전기적 특성과 식각률 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
홀 방식 이온빔 소스의 채널 및 자기장 구조에 따른 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
UV 광흡수법을 이용한 C4F8/Ar 유도결합플라즈마의 CF2 절대밀도 공간분포진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
유도결합플라즈마에서 플라즈마 변수와 전자 에너지 분포에 대한 RF bias의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
KAERI 중성빔 음이온원 개념설계
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
식각공정용 가스방전에서 이온 및 활성종 밀도의 전자밀도 및 온도 의존성에 대한 수치해석적 분석
Applied Science and Convergence Technology
2011 .11
Ar/N₂ 혼합가스 비율에 따른 대기압 저온 플라즈마제트의 플라즈마 전파 속도 및 전자 온도 조사
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
Ar 전자빔 플라즈마에서 다중 이온화 효과로 인해 전자 온도가 낮아지는 현상
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
O₂와 Ar의 축전 결합 플라즈마에서 전자와 이온 거동에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
0