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저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제16회 학술발표회논문개요집
발행연도
1999.2
수록면
164 - 164 (1page)

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1999

그리드를 이용한 플라즈마 변수 제어에 따른 Ar / CF4 플라즈마에서 중성종 및 이온들의 분포 변화
홍정인 ,  배근희 ,  서상훈 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 1999.07 학술대회자료
유도 결합 플라즈마에서 그리드 전압에 의한 플라즈마변수 제어에 관한 연구
홍정인 ,  서상훈 ,  배근희 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 1999.02 학술대회자료

1998

유도 결합 플라즈마에서 그리드 전압에 의한 플라즈마변수 제어에 관한 연구
홍정인 ,  서상훈 ,  배근희 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 1998.07 학술대회자료

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