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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제7권 제4호
발행연도
1998.11
수록면
374 - 380 (7page)

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글로벌 모델을 사용하여 CF₄플라즈마 내부에서의 각 중성및 이온 라디칼 밀도를 계산하였다. 중성 입자로서는 플루오린 원자가 가장 많고, 높은 입력 전력 조건의 경우 CF나 CF^+와 같은 저 분자 해리종이 주종을 이룬다. 압력이 증가 할수록 하전 입자의 밀도는 증가하나 전자 온도의 감소로 이온화율은 감소한다. 공급 가스인 CF₄의 해리율은 압력에 따라 증가한후 다시 감소하는 양상을 보인다. 전자 온도 및 밀도는 입력 유량에 대해서 거의 변화가 없다. CF₄의 해리율은 유량 증가에 따라 선형적으로 감소하며 이는 CF₃의 증가와 CF의 감소로 이어진다. 식각 실험 결과와의 비교를 통해 플루오로 카본 이온종 및 높은 C/F 비를 갖는 중성 라디칼의 상대적 밀도 증가가 SiO₂/Si 식각 선택도 향상에 중요함을 알 수 있었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 글로벌 모델 및 계산 과정

3. 결과 및 토의

4. 결론

감사의 글

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