LPCVD로 성장된 텅스텐 게이트의 물리ㆍ전기적 특성 분석

노관종; 윤선필; 황성민; 노용한

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 노관종 윤선필 황성민 노용한

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제17회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1999.7

수록면: 151 - 151 (1page)

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윤선필

소속기관 한국진공학회

주요연구분야 자연과학 > 물리학

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황성민

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주요연구분야 자연과학 > 물리학

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노용한

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