텅스텐 폴리사이드 전극에 따른 게이트 산화막의 내압 특성 ( Breakdown Characteristics of Gate Oxide with Tungsten Polycide Electrode )

정회환 ,  이종현 ,  정관수

전자공학회논문지-A

1996 .12

폴리사이드 구조에서의 게이트 산화막에 대한 공정특성 개선에 관한 연구

엄금용 ,  홍성표 ,  노병규 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

폴리사이드 구조에서의 게이트 산화막에 대한 공정특성 개선에 관한 연구 ( A Study on the Process Characteristics Approvement of Polycide Based Gate Electrode )

엄금용 ,  홍성표 ,  노병규 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

폴리사이드 구조에서 dual 게이트 산화막에 대한 공정특성 연구

엄금용 ,  노병규 ,  김종규 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

폴리사이드 구조에서 dual 게이트 산화막에 대한 공정특성 연구 ( A Study on the process characteristics of polycide based dual gate oxidation )

엄금용 ,  노병규 ,  김종규 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

의료 방사선사용에 따른 납과 텅스텐의 차폐효과 분석

장동근 ,  김규형 ,  박철우

한국방사선학회 논문지

2018 .01

금속-산화막-반도체 소자에서 대체 게이트 금속인 텅스텐 실리사이드의 특성 분석

노관종 ,  윤선필 ,  양성우 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2000 .06

산화 분위기에 따른 게이트 산화막의 전기적 특성 분석

정회환 ,  김동식 ,  정관수

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

산화 분위기에 따른 게이트 산화막의 전기적 특성 분석 ( An Analysis of Electrical Characteristics of Gate Oxides by Oxidation Ambience )

정회환 ,  김동식 ,  정관수

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

질소 주입에 따른 게이트 산화막의 특성에 미치는 영향

정승주 ,  곽계달

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

MOS 소자에서 Titanium 폴리사이드 게이트에 의한 산화막 열화 ( Thin Oxide Degradation by Titanium-Polycide Gate in MOS Device )

박진성 ,  이우성 ,  정동진 외 7명

전자공학회논문지-A

1992 .12

게이트폴리의 재결정화에 기인한 얇은 게이트 산화막의 열화에 관한 연구

봉칠근 ,  신동호 ,  이원식 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

텅스텐 실리사이드 듀얼 폴리게이트 구조에서 CMOS 트랜지스터에 미치는 플로린 효과

최득성 ,  정승현 ,  최강식

전자공학회논문지

2014 .03

니켈 폴리사이드 게이트 전극 형성에 관한 연구

정연실 ,  김시중 ,  김주연 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

텅스텐 염으로부터 텅스텐 나노 분말 합성 연구

이시형 ,  구혜영 ,  하국현 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2015 .04

국소압축응력법을 이용한 산화텅스텐 나노선의 밀도 제어

나형주 ,  김종백 ,  백대현 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

코발트 폴리사이드 게이트 전극 형성

심현상 ,  구본철 ,  배규식

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

텅스텐 실리사이드를 차세대 게이트 전극으로 이용한 MOS 소자의 특성 분석 ( Characterisitics of Metal-Oxide-Semiconductor (MOS) Devices with Tungsten Silicide for Alternate Gate Metal )

노관종 ,  윤선필 ,  양성우 외 1명

전자공학회논문지-SD

2001 .07

Wet 게이트 산화막과 Nitride 산화막 소자의 특성에 관한 연구

이용희 ,  최영규 ,  류기한 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1999 .06