The electrical properties of NVM with Si nanocluster formed by a pulse-type gas feeding technique in the LPCVD system

Kyongmin Kim ,  Eunkyeom Kim ,  Jeongho Kim 외 10명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

Nano - structure of Si₃N₄ on Si(001) using ionized N₂ gas

정민철 ,  한문섭 ,  유병덕 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

In-situ magnetization measurements and ex-situ morphological analysis of electrodeposited cobalt onto chemical vapor deposition graphene/SiO₂/Si

F ,  anco ,  Vinicius C. De 외 10명

Carbon letters

2017 .01

Fabrication of nc-Si/SiO₂ Multi-Layer Structure by using LPCVD

Soonjae Jung ,  Eunkyeom Kim ,  Chan Pa 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .08

A first principles study on magnetism of Fe3Si on Si(001) and Si(111) substrates

Do ,  j Odkhuu ,  Won Seok Yun 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Si₂H6와 H₂ 가스를 이용한 LPCVD내에서의 선택적 Si 에피텍시 성장에 미치는 산소의 영향

손용훈 ,  박성계 ,  김상훈 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2002 .04

: LPCVD 실리콘 박막의 저온 열처리에 따른 결정화 거동에 관한 연구

김철수 ,  한정인 ,  김원근 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .02

Synthesis of Si quantum dot nanomaterials using high density dual frequency plasmas

Yongyi Yin ,  B. B. Sahu ,  J. S. Lee 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

승온시 Si₂H6 가스 주입을 이용한 표면 SiO₂의 억제 및 비정질 Si의 고상 에피텍시에 관한 연구

최태희 ,  남승의 ,  김형준

Applied Science and Convergence Technology

1996 .09

Metal nanowires formed on high - index Si surfaces : Bi / Si(5 5 12) vs Ag/ Si(5 5 12)

S. H. Cho ,  J. M. Seo

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2004 .08

Optical and Electrical Characteristics of Si Nano-dots Embedded in Silicon Nitride Thin Film

Kyungsu Lee ,  Eunkyeom Kim ,  Jeongho Kim 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

LPCVD를 이용한 Poly-Si박막 증착 및 박막 트랜지스터 분석

장경수 ,  정성욱 ,  이준신

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2010 .02

Si(5 5 12)에 존재하는 안정된 Si(6 9 17) Facet의 구조

주영철 ,  조상희 ,  전무현 외 1명

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2002 .06

LPCVD법으로 증착된 비정질 실리콘박막의 고상결정화에 미치는 자기이온주입효과

황의훈 ,  노재상

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1996 .02

The Study of W Deposition on Si Substrate by SiH₄ Reduction of WF6 LPCVD System

Sung Hoon Kim ,  Se Ahn Song ,  Seong Keun Kim

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1992 .02

Si - O - C - H 저유전율 박막의 특성 연구 Study of Low - k Si - O - C - H Thin Films

김윤해 ,  이석규 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Formation of high-density Si nano dots using sputtered silicon seeds for non-volatile memory applications

임태경 ,  김은겸 ,  이경수 외 5명

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2009 .02

Can the S-K growth mode be applied to the flat high - index Si surfaces? : Ge / Si(5 5 12)

리혜정 ,  강영화 ,  김희동 외 1명

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2005 .02

The atomic structure of high - index Si surfaces : Si(5 5 12) and its potential applications

Jae Myung Seo

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2001 .07

Analysis of Si-, O- and H- bonding effect at Si-SiO₂ interface for c-Si surface passivation quality by thermal oxidation

Jiyoon KANG ,  Minhan JEON ,  Donghyun OH 외 5명

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2016 .08