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Si nano dots growth using pulse-type gas feeding with Si₂H₆ in LPCVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
: LPCVD 실리콘 박막의 저온 열처리에 따른 결정화 거동에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
X선회절을 이용한 Si / SiO₂ 및 Si / SiO₂ / poly - Si의 응력측정
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
LPCVD 공정시간에 따른 silicon 의 결정화 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
LPCVD법으로 증착된 비정질 실리콘박막의 고상결정화에 미치는 자기이온주입효과
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
SiO₂/Si₃N₄/SiO₂와 Si₃N₄/SiO₂/Si₃N₄ 터널 장벽을 사용한 금속 실리사이드 나노입자 비휘발성 메모리소자의 열적 안정성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
Characteristics of La0.67 Sr0.33MnO₃ Layer Under W-C-N Buffer Layer Instead of SiO₂ on Si Substrate
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2008 .12
Si₂H6와 H₂ 가스를 이용한 LPCVD내에서의 선택적 Si 에피텍시 성장에 미치는 산소의 영향
Applied Science and Convergence Technology
2002 .04
LPCVD를 이용한 Poly-Si박막 증착 및 박막 트랜지스터 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
The Study of W Deposition on Si Substrate by SiH₄ Reduction of WF6 LPCVD System
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
Co / Si 와 Co / SiO₂ 다층막의 자기적 성질
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
1991 .05
Variation of reflectivity and colour in SnO₂/Ag/SnO₂ structure with Nb₂O5 and SiO₂ index matching layer
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
승온시 Si₂H6 가스 주입을 이용한 표면 SiO₂의 억제 및 비정질 Si의 고상 에피텍시에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1996 .09
Si / SiO₂ - nanostructure의 제작 및 C-V특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
Microstructure and Electrical Properties of LPCVD Polysilicon
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
Analysis of Si-, O- and H- bonding effect at Si-SiO₂ interface for c-Si surface passivation quality by thermal oxidation
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
LPCVD로 성장된 텅스텐 게이트의 물리ㆍ전기적 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
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