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LPCVD법으로 증착된 비정질 실리콘박막의 고상결정화에 미치는 자기이온주입효과
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
LPCVD 공정시간에 따른 silicon 의 결정화 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
LPCVD를 이용한 Poly-Si박막 증착 및 박막 트랜지스터 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
반구형 LPCVD 다결정 실리콘 박막의 구조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
Fabrication of nc-Si/SiO₂ Multi-Layer Structure by using LPCVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
Si nano dots growth using pulse-type gas feeding with Si₂H₆ in LPCVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
Microstructure and Electrical Properties of LPCVD Polysilicon
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
LPCVD로 성장된 텅스텐 게이트의 물리ㆍ전기적 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
The Study of W Deposition on Si Substrate by SiH₄ Reduction of WF6 LPCVD System
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
LPCVD 다결정 실리콘 박막의 SSIC (seed selection through ion channeling)공정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
LPCVD에 의한 텅스텐 실리사이드 게이트 증착 및 RTP 열처리에 의한 특성 변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
Si₂H6와 H₂ 가스를 이용한 LPCVD내에서의 선택적 Si 에피텍시 성장에 미치는 산소의 영향
Applied Science and Convergence Technology
2002 .04
The electrical properties of NVM with Si nanocluster formed by a pulse-type gas feeding technique in the LPCVD system
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
LPCVD 조건하에서 SiH₄에 의한 WF6환원반응으로부터의 텅스텐 박막 증착 메커니즘에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
공정변수와 후속 열처리가 저압화학증착 다결정 실리콘 박막의 특성에 미치는 영향
Applied Science and Convergence Technology
2002 .12
박막히터를 사용한 비정질 실리콘의 고상결정화
Applied Science and Convergence Technology
2003 .09
결정화된 실리콘 막질에 미치는 고온 열처리 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
마이크로파 플라즈마 화학기상증착법(PECVD)과 저압 화학기상증착법(LPCVD)을 이용한 실리콘 기판 위에서의 텅스텐 박막증착
Applied Science and Convergence Technology
1992 .06
Si - O - C - H 저유전율 박막의 특성 연구 Study of Low - k Si - O - C - H Thin Films
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
Monte Carlo 법을 이용한 저압화학증착 공정에서의 미세박막 증착패턴에 관한 전산모사
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
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