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PECVD를 이용하여 플라즈마 중합된 저유전상수 cyclohexane 박막의 특성과 C - H 양과의 관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
P - xylene precursor를 사용하여 PECVD로 증착한 저유전상수 polymer와 금속 (Cu, Ti, Ta)의 계면반응에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
플라즈마 중합된 저유전상수 para - xylene 박막의 H₂+He 플라즈마 처리에 의한 유전 및 열 특성 향상
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
Hexamethyldisiloxane과 Neohexane 단량체를 이용하여 플라즈마 중합된 저유전상수 갖는 박막의 증착파워 변화에 따른 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
PECVD 증착조건 변화에 따른 a-C:H 박막의 구조 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
PECVD 방법을 이용한 DLC 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
태양전지 적용을 위한 PECVD 실리콘 질화막 증착 및 증착온도 가변에 따른 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
PECVD를 이용한 SiO₂ 증착에서 전극 간격에 따른 증착률과 균일도 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
PECVD로 증착된 Silicon Nitride 박막의 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
Toluene precursor를 사용하여 PECVD에 의해 증착된 law - k 유기박막의 증착온도의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
200℃에서 PECVD로 증착한 실리콘질화막의 특징
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
ECR - PECVD로 증착된 a - C : H 박막의 열처리 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
p - Xylene precursor를 사용한 low k 유기박막의 PECVD 증착 및 전기적특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
Photoluminescence chracteristics of SiNx thin film deposited by PECVD at low temperature
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
PECVD 로 증착한 비정질 실리콘 박막의 고온결정화
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
PECVD Synthesis of WS₂ for Hydrogen Evolution Catalysis
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
PECVD 증착 변수와 in - situ IR cell 을 이용한 온도별 a - Si : H 의 특성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
PECVD로 증착된 a - Si : H의 고상결정화에 있어서 기판온도의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
ECR - PECVD 방법으로 증착된 a-C:H 박막의 수소함량 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
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